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            EVG620 NT-掩模對準光刻機系統

            簡要描述:EVG620 NT-掩模對準光刻機系統EVG ® 620 NT提供國家的本領域掩模對準技術在小化的占位面積,支持高達150毫米晶圓尺寸。

            • 產品型號:
            • 廠商性質:代理商
            • 產品資料:查看pdf文檔
            • 更新時間:2023-11-22
            • 訪  問  量: 3408

            詳細介紹

            一、產品特色

            EVG620 NT-掩模對準光刻機系統|接觸式光刻機提供國家的本領域掩模對準技術在小化的占位面積,支持高達150毫米晶圓尺寸。


            二、技術數據

            EVG620 NT以其多功能性和可靠性而著稱,在小的占位面積上結合了先進的對準功能和優化的總體擁有成本,提供了先進的掩模對準技術。它是光學雙面光刻的理想工具,可提供半自動或自動配置以及可選的全覆蓋Gen 2解決方案,以滿足大批量生產要求和制造標準。擁有操作員友好型軟件,短的掩模和工具更換時間以及高效的球服務和支持,使它成為任何制造環境的理想解決方案。

            EVG620 NT或*容納的EVG620 NT Gen2掩模對準系統配備了集成的振動隔離功能,可在各種應用中實現出色的曝光效果,例如,對薄而厚的光刻膠進行曝光,對深腔進行構圖并形成可比的形貌,以及對薄而易碎的材料(例如化合物半導體)進行加工。此外,半自動和全自動系統配置均支持EVG專有的SmartNIL技術。


            三、EVG620 NT-掩模對準光刻機系統特征

            1、晶圓/基板尺寸從小到150 mm / 6''

            2、系統設計支持光刻工藝的多功能性

            3、易碎,薄或翹曲的多種尺寸的晶圓處理,更換時間短

            4、帶有間隔墊片的自動無接觸楔形補償序列

            5、自動原點功能,用于對準鍵的確居中

            6、具有實時偏移校正功能的動態對準功能

            7、支持新的UV-LED技術

            8、返工分揀晶圓管理和靈活的盒式系統

            9、自動化系統上的手動基板裝載功能

            10、可以從半自動版本升級到全自動版本

            11、小化系統占地面積和設施要求

            12、多用戶概念(無限數量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權限,不同的用戶界面語言)

            13、先進的軟件功能以及研發與全面生產之間的兼容性

            14、便捷處理和轉換重組

            15、遠程技術支持和SECS / GEM兼容性


            四、附加功能

            1.鍵對準

            2.紅外對準

            3.納米壓印光刻(NIL)


            五、EVG620 NT技術數據

            曝1、光源:

            汞光源/紫外線LED光源

            2、先進的對準功能:

            手動對準/原位對準驗證

            3、自動對準:

            動態對準/自動邊緣對準

            對準偏移校正算法

            4、EVG620 NT產能:

            全自動:一批生產量:每小時180片

            全自動:吞吐量對準:每小時140片晶圓

            晶圓直徑(基板尺寸):高達150毫米

            5、對準方式:

            上側對準:≤±0.5 µm

            底側對準:≤±1,0 µm

            紅外校準:≤±2,0 µm /具體取決于基材

            鍵對準:≤±2,0 µm

            NIL對準:≤±3.0 µm

            6、曝光設定:

            真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式/彎曲模式

            7、楔形補償:

            全自動軟件控制

            8、曝光選項:

            間隔曝光/洪水曝光/扇區曝光


            六、系統控制

            1、操作系統:

            Windows

            文件共享和備份解決方案/無限制 程序和參數

            2、多語言用戶GUI和支持:

            CN,DE,FR,IT,JP,KR

            實時遠程訪問,診斷和故障排除

            3、工業自動化功能:

            盒式磁帶/ SMIF / FOUP / SECS / GEM /薄,彎曲,翹曲,邊緣晶圓處理

            納米壓印光刻技術:SmartNIL



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