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            電容式位移傳感器

            簡要描述:美國Microsense電容式位移傳感器*非接觸式電容式微位移測量—準確的電子感應技術, 無損樣品測量。

            • 產品型號:Microsense 5810/6810
            • 廠商性質:代理商
            • 產品資料:
            • 更新時間:2023-10-12
            • 訪  問  量: 4840

            詳細介紹

              電容式位移傳感器:非接觸式高分辨率近距離位移測量
             
              美國Microsense公司(前身是ADE Technologies, KLA_TENCOR的子公司)開創了高辨率電容式位移傳感器的先河,致力于為客戶提供以藝術級別性能的高精度非接觸式微位移傳感器。
             
              電容式位移傳感器特性
             
              1.*非接觸式電容式微位移測量—準確的電子感應技術, 無損樣品測量
             
              2.優化的近距離測量—測量距離在10微米到5毫米
             
              3.高準確性,高靈敏性測量,精度可達0.5nm。
             
              4.可探測任何可傳導性、接地的測量目標—表面是否拋光以及材質對測量準確度無任何影響
             
              5.用途廣泛: 金屬薄片厚度測量,振動測量,工作臺垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)測量,精密馬達轉軸偏振測量(Axial, Radial, Spindle runout),精密儀器工作平臺定  位,設備自動聚焦測量(微影設備,原子力顯微鏡,光罩探測,圖像確認,LCD生產設備…)
             
              4800系列            5800系列6800系列8800系列       6360厚度測量系統
             
              4800系列    以至優化的線性和穩定性著稱, 一款多功能測量設備
             
              5800系列    以高動態測量著稱--高分辨率測量,可達100Khz 帶寬測量,可靠性測量甚至達觸
             
              地物例如氣動轉子和馬達
             
              6800系列    擁有皮米級別噪聲分辨率
             
              8800系列   以擁有*好的線性和穩定性系統著稱,測量帶寬高達20K HZ,納米級分辨率,超低
             
              噪聲上乘的伺服定位反饋系統設計
             
              Mini系列      迷你壓縮型傳感器測量系統
             
              6360系列      非接觸式,高精度測量硅片、CD、DVD、光盤厚度

                   圓柱型測量探頭       45°傾角測量探頭      矩型測量探頭          直角型測量探頭
             
              圓柱型測量探頭探頭直徑0.5mm 到5mm 可選
             
              45°傾角測量探頭  可緊貼圓柱形被測物測量
             
              矩型測量探頭  測量馬達及軸向轉動物時可提供*大分辨率
             
              直角型測量探頭用于測量受限空間測量
             
              設備應用
             
            定位測量系統應用:遠程位置調節器的伺服反饋系統應用
             
              間距和位移測量應用 :空間測量及檢測  軸向位移測量
             
              轉動測量系統應用:馬達精度和轉軸轉動測量  轉軸測量計精度校準測量  直線和平面平臺精度測量
             
              厚度測量系統應用:磁性介質厚度測量 光盤厚度測量
             
              自動聚焦和歸零測量應用:半導體硅片測量
             
              振動測量系統應用:樣品臺精度振動測量 轉軸振動精度測量 主動性防震系統反饋測量
             
              設備性能及主要參數
             
              1.量程:       ±25µm 到±1000µm滿量程測量
             
              2.分辨率:   優于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz
             
              3.帶寬:  1 kHz, 5 kHz, 20 kHz, 100 kHz 可選
             

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