<address id="vpddx"><nobr id="vpddx"></nobr></address>
        
        <form id="vpddx"></form>

        <form id="vpddx"><form id="vpddx"><nobr id="vpddx"></nobr></form></form>

          <form id="vpddx"><form id="vpddx"><th id="vpddx"></th></form></form>

            歡迎來到岱美儀器技術服務(上海)有限公司網站!
            岱美儀器技術服務(上海)有限公司
            咨詢熱線

            4008529632

            當前位置:首頁  >  產品中心  >  應力測量  >  FSM應力儀  >  FSM 128薄膜應力及基底翹曲測試設備

            薄膜應力及基底翹曲測試設備

            簡要描述:美國FSM 薄膜應力及基底翹曲測試設備:在襯底鍍上不同的薄膜后, 因為兩者材質不一樣,以及不同的材料不同溫度下特性不一樣, 所以會引起應力。 如應力太大會引起薄膜脫落, 引致組件失效或可靠性不佳的問題。 薄膜應力激光測量儀利用激光測量樣本的形貌,透過比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’s Equation計算出應力, 是品檢及改進工藝的有/效手段。

            • 產品型號:FSM 128
            • 廠商性質:代理商
            • 產品資料:
            • 更新時間:2023-11-22
            • 訪  問  量: 4158

            詳細介紹

            美國FSM 薄膜應力及基底翹曲測試設備

            ??在襯底鍍上不同的薄膜后, 因為兩者材質不一樣,以及不同的材料不同溫度下特性不一樣, 所以會引起應力。 如應力太大會引起薄膜脫落, 引致組件失效或可靠性不佳的問題。 薄膜應力激光測量儀利用激光測量樣本的形貌,透過比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’s Equation計算出應力, 是品檢及改進工藝的有/效手段。

            ??1) 快速、非接觸式測量

            ??2) 128型號適用于3至8寸晶圓

            ??128L型號適用于12寸晶圓

            ??128G 型號適用于470 X 370mm樣品,

            ??另可按要求訂做不同尺寸的樣品臺

            ??3) 雙激光自動轉換技術

            ??如某一波長激光在樣本反射度不足,系統會自動使用

            ??另一波長激光進行掃瞄,滿足不同材料的應用

            ??4) 全自動平臺,可以進行2D及3D掃瞄(可選)

            ??5) 可加入更多功能滿足研發的需求

            ??電介質厚度測量

            ??6) 500 及 900°C高溫型號可選

            ??7) 樣品上有圖案亦適用

            image007.jpg

            美國FSM 薄膜應力及基底翹曲測試設備  FSM128規格

            ??1) 測量方式: 非接觸式(激光掃瞄)

            ??2) 樣本尺寸:

            ??FSM 128NT: 75 mm to 200 mm

            ??FSM 128L: 150 mm/ 200 mm/ 300mm

            ??FSM 128G: /大550×650 mm

            ??3) 掃瞄方式: 高精度單次掃瞄、2D/ 3D掃瞄(可選)

            ??4) 激光強度: 根據樣本反射度自動調節

            ??5) 激光波長: 650nm及780nm自動切換(其它波長可選)

            ??6) 薄膜應力范圍: 1 MPa — 4 GPa

            ??(硅片翹曲或彎曲度變化大于1 micron)

            ??7) 重復性: 1% (1 sigma)*

            ??8) 準確度: ≤ 2.5%

            ??使用20米半徑球面鏡

            ??9) 設備尺寸及重量:

            ??FSM 128: 14″(W)×22″(L)×15″(H)/ 50 lbs

            ??FSM128L:14″(W)×26″(L)×15″/ 70 lbs

            ??FSM128G:37″(W)×48″(D)×19″(H)/ 200 lbs

            ??電源 : 110V/220V, 20A



             

             

            產品咨詢

            留言框

            • 產品:

            • 您的單位:

            • 您的姓名:

            • 聯系電話:

            • 常用郵箱:

            • 省份:

            • 詳細地址:

            • 補充說明:

            • 驗證碼:

              請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
            女人18毛片a级毛片免费-高清中出无码亚洲性爱视频-国产精品后入内射日本在线观看-婷婷久久亚洲综合国产

                  <address id="vpddx"><nobr id="vpddx"></nobr></address>
                  
                  <form id="vpddx"></form>

                  <form id="vpddx"><form id="vpddx"><nobr id="vpddx"></nobr></form></form>

                    <form id="vpddx"><form id="vpddx"><th id="vpddx"></th></form></form>

                      高潮迭起AV乳颜射后入 国产精品久久国产精品99 放进去岳就不挣扎了 亚洲Aⅴ无码国精品中文字慕 美女赤裸100%无遮挡 亚洲 欧美 动漫 少妇 自拍 欧美成人精品第一区二区三区 欧美老熟妇乱大交XXXXX 国产熟女一区二区三区四区五区 韩国甜性涩爱 免费无码一区二区三区 中文字幕亚洲无线码在线一区 日产一区二区 日本高清视频网站www 亚洲av无码精品色午夜在线观看 国产口爆吞精在线视频 永久免费AV无码网站性色AV 色色网站,视频 豪妇荡乳1一5白玉兰 无码人妻一区二区三区免费视频 日韩精品无码免费毛片 青娱乐最新地址 久久精品天天中文字幕人妻 中文字幕av一区二区三区人妻少妇 日韩超碰人人爽人人做人人添 日本在线看片免费人成视频 麻豆aⅴ精品无码一区二区 中文字幕日本人妻久久久免费 欧美猛男军警特粗大gay 狠狠色综合网站久久久久久久高清 四虎影视在线观看2413 eeuss影院www在线观看免费 无码不卡中文字幕av 免费超爽大片黄 亚洲AV无码久久 成人区人妻精品一区二区不卡视频 亚洲av无码国产剧情 国产精品免费av片在线观看 亚洲熟妇无码另类久久久 亚洲日韩中文无码久久